一體化振動溫度傳感器是指通過集成振動傳感芯片和溫度傳感器芯片，按應用需求進行封裝和信號輸出的一種復合型傳感器變送器。
一體化振動溫度傳感器本身也是一個結構，因而，也存在固有頻率，通常，把傳感器的一階固有頻率稱為諧振頻率。傳感器尺寸越小，諧振頻率越高。加速度計的使用上限頻率取決于幅頻曲線中的諧振頻率。一般傳感器的工作頻率范圍為其自身諧振頻率的1/3以下。
基于傳感器測量時輸入單一靈敏度，用于描述在一定的頻響范圍內，傳感器的靈敏度是否滿足實際的靈敏度的指標就是線性度。相對來看，在低頻段，傳感器的靈敏度會少于實際的靈敏度，而在高頻段，則靈敏度會大于實際的靈敏度。
只有在中間頻段，靈敏度滿足線性關系。如果傳感器不在線性區間，所以測量得到的幅值會誤差較大，一般來說要求傳感器非線性＜1％。
在測量某個方向的振動時，理論上信號輸出應為振動感知方向，但實際上在與該方向垂直的方向也有信號輸出，從而形成了一種干擾，這種效應稱為橫向效應。橫向效應靈敏度越低，傳感器性能越好，但通常，傳感器都存在一定的橫向效應，國標的要求是橫向靈敏度應＜5％。
由于傳感器自身也屬于一種結構，所以也有它的固有頻率。一般把傳感器的第壹階固有頻率叫做諧振頻率。傳感器的結構尺寸越小，諧振頻率越高。振動傳感器的使用上限頻率取決于幅頻曲線中的諧振頻率。一般要求＞20kHz。
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